<mlzb class="aiuue"></mlzb>

    91免费版黄色下载,91免费小视频,91免费小黄片APP,国产91免费黄色小视频

    定制91免费小视频清洗机

    91免费小视频去胶机ASR-36L 91免费小视频除胶机
    产品描述
    • 91免费小视频去胶机:用于去除基片表面刻蚀工艺过程中作为刻蚀材料保护膜的光刻胶掩膜,也可用于基片表面其它有机物的91免费小视频体清洗。
    工作原理

    氧气是干式91免费小视频体脱胶技术中的首要腐蚀气体。它在真空91免费小视频体脱胶机反应室内高频和微波能的作用下,电离产生氧离子、自由氧原子O*、氧分子和电子混合的91免费小视频体,其间氧化能力强的自由氧原子(约10-20%)在高频电压作用下与光刻胶膜发生反应:O2→O*+O*,CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。反应后产生的CO2和H2O然后被抽走。

    产品特点

    触摸屏操作界面

    数字及图标多重工艺参数实时显示

    三色灯异常报警功能

    自动/手动操作模式切换

    可存储多套工艺配方

    远程操控,数据导出(可选)

    特殊电极、保温、气路设计,均匀性好

    适用4寸以下硅晶圆的批量处理

    应用领域

    用于去除基片表面刻蚀工艺过程中作为刻蚀材料保护膜的光刻胶掩膜,也可用于基片表面其它有机物的91免费小视频体清洗。

    产品参数

    型号

    ASR-36L

    控制系统

    控制方式

    全自动控制(自动/手动切换)



    PLC(标配)/PC(可选)


    操作系统

    Windows 10


    触摸屏

    7寸

    整机规格

    尺寸

    W950×D1050×H1700mm

    腔体

    尺寸

     Φ360×D360mm


    材质

    铝合金(标配)/不锈钢(可选)

    电极

    尺寸

    W250×D310×H140mm


    层数

    2层

    托架

    材质

    铝合金(标配)/石英(可选)


    套数

    1套

    真空计

    皮拉尼式真空计

    1个

    流量计

    MFC质量流量控制器

    3个;Ar、N2、O2、CF4(可选)

    真空泵

    干式泵

    1套

    发生器

    射频

    13.56MHz,0~1000W

    额定功率

    整机峰值功率

    13KW

    机台供电

    三相五线式

    AC-380V

    选购品

    防腐流量计、防腐真空计、防腐真空泵、防腐密封圈、石英舟、温度传感器、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件


    电话咨询
    400-816-9009
    在线咨询
    微信咨询
    联系方式
    返回顶部
    网站地图