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    中大型工业91免费小视频清洗机

    中型料盒式91免费小视频清洗机PM/R-110L 半导体表面处理系统
    产品描述
    • 中型料盒式91免费小视频清洗机:主要用于半导体行业,解决芯片、晶圆等产品表面处理难题,从去除氧化物、粘接等多个角度提供表面处理。
    工作原理

    91免费小视频清洗机(plasma cleaner)也叫91免费小视频清洁机,或者91免费小视频表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用91免费小视频体来达到常规清洗方法无法达到的效果。91免费小视频体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为91免费小视频状态。91免费小视频体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。91免费小视频清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

    产品特点

    触摸屏操作界面

    数字及图标多重工艺参数实时显示

    三色灯异常报警功能

    自动/手动操作模式切换

    可存储多套工艺配方

    远程操控,数据导出(可选)

    模块多样化选择,多层托架可选,处理量大

    应用领域

    v不分处理对象的基材类型,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理。

    产品参数

    型号

    PM-110L

    PR-110L

    控制系统

    控制方式

    全自动控制(自动/手动切换)



    PLC(标配)/PC(可选)


    操作系统

    Windows 10


    触摸屏

    7寸

    整机规格

    尺寸

    W1000×D1200×H1700mm

    腔体

    尺寸

     W500×D500×H450mm


    材质

    铝合金(标配)/不锈钢(可选)

    电极

    尺寸

    W490×D417mm


    层数

    1-8层,可选

    托架

    材质

    铝合金(标配)/不锈钢(可选)


    层数

    1层

    真空计

    皮拉尼式真空计

    1个

    流量计

    MFC质量流量控制器

    2个;Ar、N2、O2(可选)

    真空泵

    机械油式旋片泵

    1套

    发生器

    中频/射频

    40KHz,0~1000W

    13.56MHz,0~1000W

    额定功率

    整机峰值功率

    5KW

    机台供电

    三相五线式

    AC-380V

    选购品

    干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件


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